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フォトエッチング

エッチングの加工特性

加工可能な最小パターン ・ 最小開口寸法及び精度
エッチング加工の最小パターン及び精度は加工する材料の厚みに大きく左右されます。
下記に示す数値がおよその目安となります。

最小加工寸法 材料の厚みの 100% 程度
最小残し幅 材料の厚みの 50%〜100% 程度
加工精度 材料の厚みの ±10% 程度

フォトエッチングの特徴 フォトエッチングの加工特性 フォトエッチングの応用例 接合技術